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氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性,使其广泛应用。氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试,测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器,它性能稳定,空调两器检漏,灵敏度高,是真空检漏技术中较成熟的设备,使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护,氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。
真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法,我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格,而升压率不合格,或者是两者都不合格,比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。(1)极限压力合格,升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点,通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。对检漏方法的要求:能定位、定量,即不经能够找出漏孔的位置,还能知道漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;能无损检漏,不使被检设备受到损伤和污染;检漏的方式是:链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪,用真空泵组把管道抽真空,达到一定真空度。
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