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氦质谱检漏仪用于对容器或器件的密封性进行检测,对被检件泄漏点进行定性、定量和定位的检测。仪器利用内置的真空系统,将被检气体抽入到仪器内部,然后将该混合气体离化,并将离子加速送入磁场当中,利用带电离子在磁场中的偏转效应,使氦离子与其它离子分离,通过对此氦离子信号的接收、放大和显示,从而反映出被测器件的密封性。
检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,在漏点处喷射氦气5~10s后,检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,汽车空调检漏,其反应是相当的灵敏。用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口,性能。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
测试时,将定量的氦气喷吹在怀疑可能泄漏的部位,通过观察检漏仪上的漏率显示来确定该部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系统比较庞杂,影响真空的因素多,对此我们在试验前,应先根据真空严密性的试验情况、相关系统及设备的运行情况、机组的检修情况等进行了解分析,初步判断真空泄漏可能发生的设备或系统管道的位置。然后,在试验过程中先对重点怀疑泄漏部位进行检查,再对其他部位按照分系统、分段、逐个设备部件进行排查。
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