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氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备,利用了氦气的流动性和质量大于氮气、氧气等气体这一特性。
该系统的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比关系,对于压力范围0.5~8大气压,在很小的泄露量下就能探测出来(小于1Pa·m3/s)。此外还配备了真空泵对测试工件进行抽空处理,检漏仪厂家,将工作空间的工作压力降低到规定的要求参数值内;电器控制系统负责整个试验过程的操作和调节控制;而示差式电路不但能根据被测样品放出的低频成分来校正测量结果而且还能使仪表具有自动反吸功能。

氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备,其原理基于带电粒子在磁场中的偏转以及气体分子对电磁辐射的吸收。该系统的部件是氦离子源和质谱仪。
当需要检查的对象内部存在微小压力时,可以使用液态惰性气体作为示踪剂(例如:氦气),通过管道进入待测对象内并被稀释到很低浓度后从密封区域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此时可以通过测量总释放量Ra来判断泄露是否发生,若Ra>Rb+ΔR且ΔR足够小时则认为发生了泄露[1]。

在进行检漏系统操作时,需要注意以下几点:
1.确认管道是否已经充满压力。如果存在残余的压力,需要行泄压处理;否则可能会影响检测结果或导致危险情况发生。例如在泄漏探测器的安装中应确保被测管路满溢(充气)至少24小时后才能开始测试。若使用带隔膜的打压机则无须此步骤。但应注意气体密度的影响。对于性气体还应考虑其溢出风险和安全措施等[3]。
2.注意控制输入信号的质量和处理速度。这可以通过选择合适的设备和参数来实现。需要注意的是设备之间的匹配问题以及响应时间对准确性的干扰等问题。
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