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对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,无毒,充气柜检漏,不腐蚀零件;氦质谱检漏主要领域:空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等;真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统;对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa.m3/s),然后对氦罩冲氦。
仪器工作在稳定的状态,在仪器的检漏口喷一定量的氦气, 分别采取持续抽、空气清氦、氮气清氦的清氦方式,仪器再按开始键,记录清氦所需时间。而通过实验表明,利用氮气来清氦的效率是高的。鉴于仪器在检漏的过程中氮气清氦的性,对仪器的系统进行改进。增加清氦电磁阀。在氦质谱检漏仪中增加氮气清洗设置,有效的避免了在检漏过程中,氦气残留对仪器检测灵敏度的影响,另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置,即仪器在检测到大漏时,仪器自动停止,防止大量氦气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是不错的选择,利于对仪器的清氦,保证仪器检测的高灵敏度。
氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法,负压法和正压法,一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空,这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。氦质谱检漏主要领域:空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等;真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统;对于体积较大的工件,采用背压发,按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦(含量30%)-氮混合气体,然后放入检漏罐中。
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