真空检漏的具体方法 为了方便说明真空检漏方法,我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。 (1)极限压力合格,升压率不合格 极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。

油箱试验件的细漏漏点采用正压法检测。试验时，向油箱 试验件内部充入氦气和压缩空气的混合气体，使油箱内部压力大于外界大气压，如果有漏点存在，氦气就通过漏点泄漏出来，用吸枪进行探测，就能确定是否存在泄漏。检测过程要保证在吸枪上加罩盒。一是为了防止环境中氦浓度过高，影响检测;二是为了防止一大片的漏点同时泄漏，不能检测到漏点的确切位置及单个漏点的漏率。检测时，吸枪要沿着漏点缓慢移动，以便能够检测出漏源的准确反应值。

氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。常用的传统气体管道检漏方法，如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用，检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。