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氦质谱检漏仪用于对容器或器件的密封性进行检测,家电行业检漏设备,对被检件泄漏点进行定性、定量和定位的检测。仪器利用内置的真空系统,将被检气体抽入到仪器内部,然后将该混合气体离化,并将离子加速送入磁场当中,利用带电离子在磁场中的偏转效应,使氦离子与其它离子分离,通过对此氦离子信号的接收、放大和显示,从而反映出被测器件的密封性。
测试时,将定量的氦气喷吹在怀疑可能泄漏的部位,通过观察检漏仪上的漏率显示来确定该部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系统比较庞杂,影响真空的因素多,对此我们在试验前,应先根据真空严密性的试验情况、相关系统及设备的运行情况、机组的检修情况等进行了解分析,初步判断真空泄漏可能发生的设备或系统管道的位置。然后,在试验过程中先对重点怀疑泄漏部位进行检查,再对其他部位按照分系统、分段、逐个设备部件进行排查。
消费者应用这种氦质谱检漏仪能够从根本上保证这种产品拥有良好的应用价值,在我国更多的产品漏率检查之中原先更好的技术支持,因此氦质谱检漏仪的优势更保证了我国产品漏问题检查的质量。检漏仪全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10 -11 Pam3 / s 数量级,仪器响应快,
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