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漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。对检漏方法的要求:能定位、定量,电力开关检漏,即不经能够找出漏孔的位置,还能知道漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;能无损检漏,不使被检设备受到损伤和污染;检漏的方式是:链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪,用真空泵组把管道抽真空,达到一定真空度。

氦质谱检漏主要领域:冶金——真空电炉;低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器;轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。氦质谱检漏主要领域:电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路;氦质谱检漏主要领域:原子能工业——气体扩散处理系统;高能物理研究院——及其配件;

对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,,不腐蚀零件;氦质谱检漏主要领域:空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等;真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统;对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa.m3/s),然后对氦罩冲氦。


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