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仪器工作在稳定的状态,在仪器的检漏口喷一定量的氦气, 分别采取持续抽、空气清氦、氮气清氦的清氦方式,仪器再按开始键,记录清氦所需时间。而通过实验表明,利用氮气来清氦的效率是高的。鉴于仪器在检漏的过程中氮气清氦的性,对仪器的系统进行改进。增加清氦电磁阀。在氦质谱检漏仪中增加氮气清洗设置,有效的避免了在检漏过程中,氦气残留对仪器检测灵敏度的影响,另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置,即仪器在检测到大漏时,冰箱快速检漏,仪器自动停止,防止大量氦气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是不错的选择,利于对仪器的清氦,保证仪器检测的高灵敏度。

测试时,将定量的氦气喷吹在怀疑可能泄漏的部位,通过观察检漏仪上的漏率显示来确定该部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系统比较庞杂,影响真空的因素多,对此我们在试验前,应先根据真空严密性的试验情况、相关系统及设备的运行情况、机组的检修情况等进行了解分析,初步判断真空泄漏可能发生的设备或系统管道的位置。然后,在试验过程中先对重点怀疑泄漏部位进行检查,再对其他部位按照分系统、分段、逐个设备部件进行排查。

外漏主要是渗漏,主要部位为板片和板片之间的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处。串液主要为压力高的一侧的介质串入压力较低- -侧的介质中,系统会出现压力和温度的异常。如果介质具有腐蚀性,还可能导致回路中其他设备的腐蚀。串液通常发生在导流区域或者二道密封区域。为了避免外漏的发生,需要对板片和板片的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处进行氦质谱检漏。


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