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氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;

我们应用此检漏技术对发电厂机组汽轮机进行了真空系统检漏,效果良好。应用氦质谱检漏仪对发电厂汽轮机真空系统进行检漏一般包括真 空法和吸法。本次对发电厂机组进行的真空系统检漏测试试验采用吸法。机组正常运行时,真空系统内部处于负压状态,空气通过漏点被吸入凝汽器,终通过水环真空泵抽出,家电行业检漏设备,经过气水分离器从排气口排至大气。测试前,将氦质谱检漏仪测试口与吸探头通过吸气线连接,并将吸探头装设在分离器排气口处,启动氦质谱检漏仪,待检漏仪经过自检程序启动完毕,即可进入试验待检状态。

检漏仪对示漏气体的要求:在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。氦质谱检漏仪主要技术指标:1. 小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯,极大降低氦气损耗(功能可选)。


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