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真空检漏向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格,可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,然后向罩中喷入氮气,观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。极限压力不合格,升压率合格这种情况原因通常出现在粗抽阀到机械泵部分的各个连接管路的焊口及法兰连接或真空泵本身性能。
测试时,将定量的氦气喷吹在怀疑可能泄漏的部位,通过观察检漏仪上的漏率显示来确定该部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系统比较庞杂,影响真空的因素多,对此我们在试验前,应先根据真空严密性的试验情况、相关系统及设备的运行情况、机组的检修情况等进行了解分析,初步判断真空泄漏可能发生的设备或系统管道的位置。然后,在试验过程中先对重点怀疑泄漏部位进行检查,再对其他部位按照分系统、分段、逐个设备部件进行排查。
氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器,它性能稳定,灵敏度高,是真空检漏技术中较成熟的设备,使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护,氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。氦质谱检漏设备因氦比空气轻,因此要注意检漏的顺序,检查顺序应依照由下而上,电力行业检漏解决方案, 由近而远的顺序进行。对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,无毒,不腐蚀零件;
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