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漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。对检漏方法的要求:能定位、定量,即不经能够找出漏孔的位置,还能知道漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;能无损检漏,不使被检设备受到损伤和污染;检漏的方式是:链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪,用真空泵组把管道抽真空,达到一定真空度。
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点,电力行业检漏设备,就要考虑各个真空泵性能的问题,首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少,如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能,其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
通过外部检漏通常都会解决,但在多遍检漏后问题若是仍然存在,我们就应该考虑是否存在内部漏点。笔者发现,内漏大多来源于各种充气阀。若要验证,可以在阀门保持关闭的状态下,将阀门的保护气体一端法兰打开- -缝隙,充入氦气检查是否漏气,若不漏气,再将阀门连接好后立即充入保护气体到管路中,如果这时检漏仪漏率值上升,那么就可以确定充气阀泄漏是真空指标不合格的原因。
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