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氦质谱检漏仪是一种用于检测和测量容器和管道内部气体泄漏的仪器。它使用高能电离粒子轰击气体样品,使其离子化,并通过质谱仪测量离子的质量,从而检测出气体的泄漏。该系统通常由气体检测器、质谱仪、数据采集和处理系统等组成。检漏仪可以检测到微小的气体泄漏,对于液体和气体混合物的泄漏检测也有较高的灵敏度。该仪器广泛应用于石油、化工、制药、电力等行业,用于监测和防止气体泄漏事故的发生。
氦质谱检漏仪是一种高灵敏度的气体检测仪器,主要用于测量真空系统中的微小泄漏。其原理是利用氦气作为工作流体在磁场中发生的质量分离来探测和定位系统的任何缺陷或损坏位置的设备之一。该设备的优点包括高度敏感、快速响应时间和高分辨率等特性,pfeiffer氦质谱检漏仪,适用于各种不同的应用领域,如航空航天、核能工程、石油化工等领域。同时它可以实时监控压力变化并给出指示信号以及可实现远距离移动检查表面无损时读数记录及数据处理管理等功能。
氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备,主要用于真空系统中微小渗漏的查找和定位。它主要由主机、进气管道组件、离子源、收集极、高压电源、探测器等部分组成。该系统的功能是利用高速流动的高纯度惰性气体(通常是氮或)流将待测区域与外部环境隔离,如果存在泄的话,那么在压力梯变的影响下空气中的分子会从有缝隙的地方跑出去形成气泡,从而产生声学信号或者叫作粒子束,通过测量这个声音可以确定具体的漏洞位置以及大小等信息。这种技术对各种材料均不敏感而且对于很小的体积也可以进行准确的测定,因此广泛应用于半导体工业中硅片芯片封装环境的监测以防止晶圆损伤;也应用于大规模集成电路生产线上检查每个密封件是否有缺陷。
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