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氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其广泛应用。氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。

氦质谱检漏主要领域：冶金——真空电炉；低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视，氦质谱检漏仪的方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。

检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标，如何快速地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是第二次期间快速发展起来的一种高精度检漏仪，其灵. 敏度高达10-15pa:m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦质谱检测技术以其灵敏度高、速度快、使用安全、适用范围广以及可以量化漏点的漏率等特点，在航空、航天、汽车和电力行业得到了广泛的应用，与其他诸多传统检漏方法相比，氦质谱检漏具有的技术***性。采用氦质谱检漏技术，可以实现飞机机翼整体油箱渗漏点的快速定位检测与修补，保证机翼 翼盒的高质量、率装配。