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发布时间:2022-07-16 08:49:00 作者:安徽伽德罗
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;
航天技术的不断发展, 泄漏问题已经成为航天产品设计制造中必须考虑的关键因素,越来越多的收到各方关注,相关电子元器件漏率检测已经引起科研人员的高度重视,目前应用检漏技术的主要是为密封继电器、集成电路 外壳。.利用氢质谱检漏仪可以方便地对密封继电器作漏率测定。针对不同的产品,采用合适的检漏方法。目前密封继电器的漏率检测主要是GJB360A-96的112实验程序。
实验程序中明确规定了密封继电器的检漏条件及步骤,本次主要讨论背压法检漏属于检漏步骤中的细检漏。继电器的背压检漏法一般分为三步: 1加氦压:将被检继电器放入充氦的压力罐中; 2净化:从压力罐中取出继电器,用氮气流或者空气流吹净继电器表面吸附的氦气。3检漏:将继电器放入检漏仪的检漏盒中进行检测,若继电器有漏,压入内腔的氦气会经过漏孔进入检漏仪,仪器上会有漏率显示。
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